엔지니어링, 정밀 전력 변환, 측정 및 제어 솔루션 분야의 글로벌 리더인 Advanced Energy가 GEMINI™ 5540A Rf (Radio Frequency) Power Meter를 발표했다.
새로운 Power Meter는 반도체, 통신, 산업 및 의료 시장에서 정밀한 RF 전력 제어가 필요한 적용을 위해 유연하고 편리한 통합 장치에서 매우 정확한 in-line RF 전력 측정 기능을 제공한다.
Sensor와 Meter를 하나로 결합되는 GEMINI 5540A는 0.2~200MHz의 주파수 범위를 가지며 ±0.5% +0.5W의 2-sigma 정확도로 3~5000W의 전력을 공급한다. 이 통합 계측기를 통해 사용자는 RF 전력의 정확한 측정 및 제어가 필요한 Application에 대해 여러 계측기를 하나의 Meter로 대체할 수 있다.
Advanced Energy의 중요 감지 및 제어 제품 부사장인 Gerry Blumenstock은 “high aspect ratio (HAR) 플라스마 에치와 같은 까다로운 반도체 공정에서, RF 시스템의 정밀 제어 및 챔버 대 챔버 매칭은 공정 성능에 직접적인 영향을 미친다. 새로운 GEMINI 5540A로 OEM은 시스템을 정확히 보정하고, RF 전력을 실시간으로 모니터링할 수 있어 최첨단 플라스마 기반 공정의 정확도와 균일성을 향상할 수 있다”고 말했다.
GEMINI 5540A는 정방향 및 역방향 전력, voltage standing wave ratio (VSWR) 및 주파수를 동시에 보여줘 판독이 수월한 대형 OLED 디지털 디스플레이를 갖고 있다. 이 제품은 정방향 및 역방향 전력 측정에 재구성할 필요 없이 주파수를 자동으로 감지한다. Meter의 calibration 주기가 기존 제품들의 6개월에서 12개월로 줄었으며, 제품은 외부 배터리 또는 AC 전원 콘센트와 기성 USB 어댑터를 사용해 표준 USB 2.0 포트를 통해 공급되는 5V, 500mA 입력으로 작동한다.
Meter는 직접 측정할 뿐만 아니라 Advanced Energy의 GEMINI Tools 데이터 시각화 소프트웨어를 사용해 데이터를 수집, 저장 및 감사하기 위해 PC에 연결할 수 있다.
