반도체 제조용 열 관리 솔루션 전문업체인 ERS electronic이 실제 프로빙 영역에서 30mK 미만의 고정밀 자동 측정이 가능한 온도보정 장치를 개발했다.
특허 출원 중인 ProbeSense™는 프로버(prober)의 프로브 카드 위치에 장착된 온도 센서로 구성된다. 이 센서는 프로버의 XYZ 축 모션 기능을 활용해 웨이퍼 프로빙 시와 동일한 조건에서 웨이퍼 표면의 여러 지점에서 온도를 측정할 수 있다.
ProbeSense™는 사용자가 선택한 프로버에 적합한 어댑터 플레이트와 함께 제공되므로, 반도체 업계의 모든 웨이퍼 프로버와 호환된다. ProbeSense™ 패키지에는 mK 범위의 센서와 함께 보정된 온도 측정 기구도 포함된다.
ERS의 ProbeSense™ 소프트웨어를 프로버에 통합하면 프로세스가 완전 자동화되므로, 작업자 없이도 척(Chuck)의 여러 지점과 온도에서 테스트 스크립트를 실행할 수 있다. MPI는 프로빙 스테이션에서 이 추가 기능을 제공하는 최초의 프로버 제조업체다.
ERS electronic의 CTO인 Klemens Reitinger는 “ProbeSense™는 강력하고 고도로 정확하며 사용하기 쉬운 보정 도구에 대한 요구를 해결하는 것”이라면서 “여러 개의 프로버 제조업체에 의해 통합되고 있는 자동화 기능은 정확도 보정 및 온도 균일성 측정에서 판도를 바꿀 것”이라고 설명했다.
MPI Corporation의 고급 반도체 테스트(Advanced Semiconductor Test) 부문 제너럴 매니저 Stojan Kanev는 “MPI Corporation은 서멀 척(Thermal chuck) 보정을 위한 ProbeSense™를 SENTIO(R) Prober 제어 소프트웨어 제품군에 통합함으로써 확실한 장점을 제공한다”라며, “완전 자동화된 절차를 통해 야간이나 주말 시간을 보정에 활용해 직관적인 작동과 빠른 결과를 제공하므로, 테스트를 위해 귀중한 시간을 낭비할 필요가 없다”고 말했다. 이어 그는 “이러한 기능을 제공함으로써, 우리는 비용 및 시간 효율적인 열 보정 솔루션에 대한 고객의 요구를 해결하고 있다”고 덧붙였다.
