첨단기술교육 전문기업 아이지는 반도체 플라즈마 공정에 대한 전반적인 요소기술을 실습할 수 있는 반도체 플라즈마 응용 실습 장비 개발에 성공해 본격적인 공급에 나섰다.
반도체 제조 라인에서 플라즈마 공정이 중요한 역할을 하는 만큼 반도체 공정 교육 실습 현장에서 플라즈마 응용 실습은 빼놓을 수 없는 과제다.
반도체 제조 공정에서 플라즈마는 증착, 식각, 세정, 이온 임플란트 공정과 함께 포토 공정 중 EUV 발생 등에 사용된다. 전자기장을 통해 제어 가능한 기체 구조를 지닌 플라즈마는 적은 에너지 투입으로도 빠르게 화학반응을 진행할 수 있고, 양이온, 음이온, 라디칼, 원자, 분자 등 다양한 입자로 이뤄져 있어 새로운 화학 반응이나 더 빠른 화학 반응을 유도할 수 있다.
플라즈마의 이러한 특성은 반도체 기술 발전에 따른 더 높은 수준의 공정을 구현하는 데 활용되고 있으며, 앞으로도 반도체 제조에서 플라즈마 공정의 활용 범위는 더 넓어질 것으로 기대된다.
아이지가 이번에 개발한 반도체 플라즈마 응용 실습 장비는 공정 설계와 함께 제어 실습까지 가능한 교육 장비다. 반도체 플라즈마 공정의 제어 및 분해 조립, 레시피 제어, 테스트 등 다양한 운영 실습을 지원한다.
아이지의 반도체 플라즈마 응용 실습 장비는 반도체 플라즈마 공정의 프로세스 장치를 제어하는 컨트롤 솔루션을 제공하며, 제어 소프트웨어 솔루션 및 제어기를 지원하고, 반도체 구성 모듈(RF Generator, Throttle Valve 등)과의 EtherNET 및 RS-232 통신 제어가 가능하다.
또한 공정에서 취득한 데이터를 저장 및 관리하는 데이터 서버와 연계해 운용할 수 있으며, 리얼 시스템과 가상 시스템을 상호 연계한 운용도 지원한다.
이 장비를 통해 △웨이퍼 표면을 정리하고 활성화시켜 다음 공정 단계에 대한 접착력을 증가시키는 기능 △웨이퍼의 특정 부분을 선택적으로 제거해 원하는 패턴을 형성하는 에칭 기능 △플라즈마를 이용해 다양한 물질을 웨이퍼 표면에 얇은 층으로 증착하는 기능 △플라즈마로 웨이퍼 표면의 성질을 변화시켜 전기적·화학적 특성을 개선하는 표면 개질 기능 △웨이퍼 상의 불순물을 제거해 고도의 청정도를 유지하는 클리닝 기능 등을 구현함으로써 반도체 플라즈마 공정의 다양한 기능을 실습할 수 있다.
특히 아이지는 해당 장비를 한국반도체산업협회에서 운영하는 교육과정에 활용되도록 함으로써 현장형 반도체 인재를 양성하는데 크게 기여하고 있다.
이외에도 아이지는 반도체 8대 공정 실습 장비를 공급해 전문대학교 및 직업대학교, 반도체 마이스터고 등에 교육과정을 안내하고 교원 및 학생 연수를 진행하고 있다.
그간 반도체 오퍼레이터, 메인트, 또는 반도체 장비 설계·제조와 같은 반도체 공정 분야 기술 직군의 인력 양성교육은 전문 오퍼레이터가 실제 반도체 설비를 운용하는 모습을 학생들이 참관하는 형태로 진행돼 왔다.
아이지가 약 1년 6개월에 걸쳐 개발한 반도체 8대 공정 실습 장비는 △웨이퍼 제조 △산화 △포토 △식각/박막/증착 △습식 △세정 △이온 △주입-EDS-언로딩/패키징의 반도체 8대 공정을 모듈화한 교육 훈련 장비로, 학생들이 직접 관련 설비를 조작하고 전체적인 공정 흐름을 이해할 수 있도록 설계됐다.
아이지는 반도체 8대 공정 실습이 가능한 교육 장비와 플라즈마 All-in-One 교육 장비를 통해 실제 반도체를 공부하는 학생들이 FAB에 들어가지 않고도 첨단의 교육을 받을 수 있도록 지원하고 있다며, 향후 마이스터고, 대학, 관련 기관 등과의 협력을 통해 반도체와 같은 첨단산업 인력양성에 큰 힘을 보탤 수 있도록 하겠다고 밝혔다.
