최첨단 공학 정밀 전력 변환, 측정 및 제어 솔루션 부문의 글로벌 리더인 어드밴스드 에너지 인더스트리즈가 고급 디지털 제어 전원 공급 장치와 정확한 디지털 임피던스 매칭 네트워크를 결합한 종합적인 RF 전원 공급 솔루션을 발표했다.
박막 산업 애플리케이션을 위해 설계된 ALTA™ 플랫폼은 공정 안정성을 개선하고 동급 최고의 수율을 제공하는 정확하고 반복 가능한 다목적 제어를 보장한다.
ALTA 플랫폼에는 1.5kW ~ 6kW 전력 레벨의 13.56MHz 랙 마운팅 전원 공급 장치와 13.56MHz 탭 디지털 매칭 네트워크가 포함된다. 이 시리즈는 태양광 패널, 평판 디스플레이, 정밀 광학 및 자동차 유리 제조를 비롯해서 정확하고 안정적이며 반복 가능한 정밀 전원 공급을 필요로 하는 플라즈마 기반 산업 공정에 최적화되어 있다.
어드밴스드 에너지 플라즈마 파워(Plasma Power)의 마케팅 담당 수석 이사인 다발 다야트카르(Dhaval Dhayatkar)는 “박막 제조 기술이 발전하고 있고 빠른 플라즈마 전환이 표준이 되면서 빠른 플라즈마 변화에 대한 동적 반응과 정밀 RF 제어를 결합한 전력 솔루션에 대한 수요가 늘고 있다.”면서 “ALTA 전원 공급 장치는 주파수 튜닝, 실시간 전력 및 임피던스 측정, 엄격한 전력 조절, 아크 관리 및 위상 동기화를 비롯한 다양한 고급 기능을 제공한다.”고 강조했다.
ALTA 전원 공급 장치는 강력하고 안정적인 전원 공급을 보장하기 위해 빠른 플라즈마 변화에 대한 완전 디지털 제어 및 동적 반응을 통합한다. ALTA 매칭 네트워크는 다양한 임피던스 범위를 수용할 수 있도록 쉽게 조정 가능한 탭 코일 시스템을 통해 다재다능한 튜닝 기능을 제공한다. 재연성있는 반응은 다양한 작동 조건에서 매치와 실행간 전달되는 전력의 편차를 최소화한다.
ALTA 플랫폼은 고급 디지털 아키텍처를 활용하여 EtherCAT 및 Profinet과 같은 최첨단 통신 인터페이스와의 원활한 시스템 통합뿐만 아니라 극도로 정밀한 공정 측정 및 제어를 구현한다.
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