어플라이드 머티어리얼즈, ‘베리티SEM 10’ 전자빔 계측 시스템 신제품 발표

applied VeritySEM10

업계 최고 분해능과 이미징 속도로 반도체 제조사의 공정 개발 속도 향상 및 수율 극대화 지원 어플라이드 머티어리얼즈의 새로운 전자빔 계측 시스템 ‘베리티SEM 10’ 어플라이드 머티어리얼즈가 리소그래피 공정에서의 반도체 소자 패턴 거리 측정을 정밀하게 제공하는 전자빔 계측 시스템 ‘베리티SEM 10(VeritySEM 10)’을 새롭게 발표했다. 반도체 제조사들은