업계 최고 분해능과 이미징 속도로 반도체 제조사의 공정 개발 속도 향상 및 수율 극대화 지원
어플라이드 머티어리얼즈의 새로운 전자빔 계측 시스템 ‘베리티SEM 10’
어플라이드 머티어리얼즈가 리소그래피 공정에서의 반도체 소자 패턴 거리 측정을 정밀하게 제공하는 전자빔 계측 시스템 ‘베리티SEM 10(VeritySEM 10)’을 새롭게 발표했다.
반도체 제조사들은
극자외선 석판인쇄(EUV)용 고해상도 금속 산화 포토레지스트 부문 선구적 기업인 인프리아(Inpria)가 시리즈C 자금조달을 통해 반도체 제조 생태계의 선도 기업을 대표하는 광범위한 신디케이트로부터 3100만달러를 확보했다고 밝혔다.
이번 자금 조달은 포토레지스트 제조업체이자 기존 투자 업체인 JSR 코퍼레이션(JSR Corporation)이 주도했다. 신규 투자 업체는 SK하이닉스와 TSMC파트너(TSMC Partners)이다.
