KLA, 반도체 제조의 난제 해결을 위한 새로운 시스템 2종 출시 New Products by PEMK 매거진 - 2020-12-16 3D NAND 공정 문제를 공략하는 PWG5™와 3nm 로직 결함과 맞붙는 Surfscan® SP7XP KLA는 PWG5™ 웨이퍼 기하 구조 계측 시스템과 Surfscan® SP7XP 웨이퍼 결함 검사 시스템의 2가지 신제품을 발표했다. 이들 새로운 시스템은 최첨단 메모리 및 로직 집적 회로 제조에서 매우 어려운 문제를 해결하도록 설계되었다. 분자
