반도체 파면 위상 이미징(wavefront phase imaging, WFPI) 계측 분야 전문 기업인 Wooptix가 반도체 웨이퍼의 형상과 기하구조를 나노미터 이하의 분해능으로 극도로 정밀하면서도 초고속으로 측정할 수 있는 페멧(Phemet®) 계측 시스템을 출시했다. Wooptix의 호세 마누엘 라모스(José Manuel Ramos) CEO는 “반도체 업계가 점점 더 발전해 나가고, 특히
Author: 이철민 기자
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