KLA-Tencor Corporation은 20nm 이하의 설계 노드를 지원하는 IC 반도체 공장용의 새로운 레티클 품질 제어 솔루션인 Teron™ SL650을 발표했다. Teron SL650은 193nm 조명 기술과 다양한 STARlight™ 옵틱 기술을 기반으로 입고되는 레티클의 품질을 평가 및 레티클 변형을 모니터링하고, 패턴이 형성된 부분과 개방부의 헤이즈(haze) 증가
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[신제품] 새로운 신호 조절기 제품군, P+F SC-시스템
올해 하노버 박람회에서 첫선을보인새로운 SC-시스템신호조절기는폭이 6mm에불과하고, 동작온도범위는 최고 70°C까지 확장되었다. 또한 장기간 높은안정성과신뢰성, 정밀도특성을제공한다. SC-시스템은디바이스제품군내의동급제품들이갖추고있는가장강력한기능들을통합하여완전히새롭게개발된제품이다. 예를들어, 보정은완전자동화된고정저항기레이저트리밍으로수행된다. 따라서슬라이더접점이제거되기때문에생산스프레드나트리밍포텐셔미터의간섭위험없이최상의보정결과를 얻을수 있다. 전해 커패시터는제외되고, 대신다른컴포넌트가사용되었다. 온도에따른커패시턴스값의감소는물론, 노후화현상이전해커패시터에서나타나기때문에이에대처해야한다. 전해커패시터를대체함으로써 SC-시스템신호조절기는주변온도가최고 70°C에이르러도동작이가능하다. 저전력디자인으로자가가열을낮출수있으며, 제품이동작할수있는온도범위를넓히는데기여한다. SC-시스템은입력및출력, 공급간의고품질 3-웨이절연을이용하며, 최고 300V의동작전압과 최고 2.5kV의테스트전압을견딜수있다. 신호조절기내코일의단락회로의위험은 PCB 변압기를사용하여대응하였다. 이러한 디자인은절연결함으로인한코일의단락회로가발생하지않도록변압기코일이 PCB에통합되어있다. 효과적인스위치캐비닛공간사용은소형디자인을통해달성되었다. 하우징은단 6mm에불과하고, 신호조절기모듈의공간요건을최소한으로감소시켰다. 하우징높이또한낮기때문에이 모듈은좁은간격으로배치된케이블 채널사이에적합하다. [페펄앤푹스(Pepperl+Fuchs):