SECS 표준은 반도체 산업의 필수 통신 프로토콜로, 장비 및 시스템이 데이터를 교환하고 정보를 제어하기 위한 공통 언어를 제공한다. 또한 구현 가능하고 장비 성능 및 안정성 향상, 유연성 및 확장성 향상, 유지 관리 및 업그레이드 용이성과 같은 매우 유용한 기능을 제공한다.
대만 TSMC 팹16
SECS 표준은 반도체 산업의 필수 통신 프로토콜로, 장비 및 시스템이 데이터를 교환하고 정보를 제어하기 위한 공통 언어를 제공한다. 또한 구현 가능하고 장비 성능 및 안정성 향상, 유연성 및 확장성 향상, 유지 관리 및 업그레이드 용이성과 같은 매우 유용한 기능을 제공한다.
SECS의 핵심 구성
