반도체 파티클 제어 전문기업 제덱스(JEDEX)가 정전척(ESC)을 비롯해 스퍼터링 타겟, FOUP 등 그동안 정밀 파티클 검사가 어려웠던 공정 핵심 부품까지 분석할 수 있는 검사 시스템 ‘M802ESC’를 출시했다. M802ESC는 기존 M2000ESC의 차세대 모델로, 나노급 초미세 공정 대응을 위해 개발됐다. M802ESC는 대형·고중량 구조와 표면 정밀도 문제로
Author: 오승모 기자
PEMK(파워일렉트로닉스)와 아이씨엔매거진을 담당하고 있는 오승모 편집장입니다. 공유에너지, 공유경제 사회를 추구합니다. oseam@icnweb.co.kr
